潔凈室靜電、無塵、避震要求高,
通道狹窄易磕碰
人員流失率大,用工成本高,且人工作業(yè)震動大,
易產(chǎn)生裂片污染,影響良率
工藝流程復(fù)雜且離散,
數(shù)據(jù)難以追溯
機(jī)器人高效代替人工作業(yè),降低人工成本,提高生產(chǎn)效率。
多級減震設(shè)計(jì),防止運(yùn)輸過程中晶圓碎裂,提高生產(chǎn)良率。
機(jī)器人本體寬度僅 550mm,可通過狹窄的風(fēng)淋門,實(shí)現(xiàn)窄通道高效搬運(yùn)。
采用智能管理系統(tǒng)主動收集生產(chǎn)數(shù)據(jù)信息,實(shí)時(shí)分析生產(chǎn)情況。